FIB 虚拟仿真系统

基于 WebGL 的聚焦离子束 (Focused Ion Beam) 实时仿真平台
采用 Yamamura 溅射模型,支持多层材料结构

基础仿真版

轻量级 FIB 加工仿真,适合快速体验和了解 FIB 基本原理。支持手动加工、参数调节和实时 3D 可视化。

Yamamura 模型 实时渲染 粒子效果
立即体验 →
🎓

教学演示版

专为教学设计,内置多种预设加工图案,支持自动铣削演示。实时深度剖面图帮助理解 FIB 加工过程。

预设图案 自动铣削 深度剖面 保存/加载
开始学习 →
🔬

科研工具版

面向科研人员的专业工具,支持多层材料结构仿真,实时计算剂量、时间、体积等参数,支持 STL 导出。

多层材料 剂量计算 STL 导出 数据分析
开始研究 →

📖 关于 FIB 技术

什么是 FIB?

聚焦离子束 (Focused Ion Beam) 是一种利用聚焦的离子束(通常是 Ga⁺)对材料进行纳米级加工的技术,广泛应用于半导体失效分析、TEM 样品制备等领域。

Yamamura 模型

本仿真采用 Yamamura 溅射产额模型,考虑了入射角度对溅射率的影响,能够真实模拟 FIB 加工时的陡峭侧壁形貌。

技术栈

基于 Three.js + WebGL + GPGPU 着色器实现,支持现代浏览器(Chrome、Edge、Firefox),无需安装任何插件。