基于 WebGL 的聚焦离子束 (Focused Ion Beam) 实时仿真平台
采用 Yamamura 溅射模型,支持多层材料结构
聚焦离子束 (Focused Ion Beam) 是一种利用聚焦的离子束(通常是 Ga⁺)对材料进行纳米级加工的技术,广泛应用于半导体失效分析、TEM 样品制备等领域。
本仿真采用 Yamamura 溅射产额模型,考虑了入射角度对溅射率的影响,能够真实模拟 FIB 加工时的陡峭侧壁形貌。
基于 Three.js + WebGL + GPGPU 着色器实现,支持现代浏览器(Chrome、Edge、Firefox),无需安装任何插件。